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晶圓幾何形貌及參數自動檢測機
Subnano 輪廓儀
PhaseCam 6010 緊湊型激光干涉儀
RTEC 白光干涉儀+共聚焦一體機
PLS-F1002 :晶圓幾何形貌及參數自動檢測機
PLS-F1000:晶圓幾何形貌測量及參數自動檢測機
激光干涉儀 PhaseCam 6110
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