薄膜應力儀，應力檢測儀，3DMapping

產品簡介：

美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備，客戶遍布全世界, 主要產品包括:光學測量設備: 三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應力測量設備、 紅外干涉厚度測量設備、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及 漏電流測量設備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析 (EOT)

FSM128薄膜應力及基底翹曲測試設備

在襯底鍍上薄膜后, 因為兩者材質不一樣, 所以會引起應力. 如應力太大會引起薄膜脫落, 最終引致組件失效或可靠性不佳的問題. 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有效手段。

°  快速、非接觸式測量

°  樣品臺可通用于3至8寸晶圓

128L型號適用于12寸晶圓

128G 型號適用于470 X 370mm樣品，

另可按要求訂做

°  專利雙激光自動轉換技術?

    如某一波長激光在樣本反射度不足，系統會自動使用?

另一波長激光進行掃瞄，滿足不同材料的應用

°  全自動平臺，可以進行2D及3D掃瞄（可選)

°  可加入更多功能滿足研發的需求

   電介質厚度測量

   光致發光激振光譜分析

（III-V族的缺陷研究）

°  500 及 900°C高溫型號可選

°  樣品上有圖案亦適用

° 規格:

°  測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

°  樣本尺寸: 

°  FSM 128  : 75 mm to 200 mm

°  FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

°  FSM 128G: 最大550×650 mm

°  掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

°  激光強度: 根據樣本反射度自動調節

°  激光波長:  650nm及780nm自動切換(其它波長可選)

°  薄膜應力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa

°  (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

°  重復性: 1% (1 sigma)*

°  準確度: < 2.5%*

°  *使用20米半徑球面鏡

°  設備尺寸及重量:

°  FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 270 lbs

°  FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 280 lbs

°  FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 400 lbs

°  電源 : 110V/220V, 20A